I ndéantúsaíocht leathsheoltóra, cuireann íogaireacht sliseoga le taise “dúshlán nanascála” i láthair - Is féidir le fiúntas 0.1% i gcion taise a bheith ina chúis le ciorcad sliseanna gearr - ciorcaid nó laghdú ar an toradh. D'fhorbair Hangzhou Risheng Dí -éilliú Trealamh, Ltd. triomadóirí aeir cuisniúcháin a sholáthraíonn cosaint taise chriticiúil do sheomraí glana leathsheoltóra trí theicneolaíocht díhiodráitithe domhain -40 céim agus rialú pointe drúchta cliste. Rinneadh na haonaid seo a bhailíochtú i gceannródaí sliseog mar SMIC agus TSMC: Laghdaíonn cobhsú an phointe drúchta aeir glantacháin thíos -60 céim asaithe gaile uisce le linn táirgeadh sliseog ag 99.7%, ag treisiú an toradh go 99.98%. Scrúdaíonn an anailís seo a leanas an chaoi a bhfónann triomadóirí Risheng mar "chaomhnóirí nanascála" i gcoinne taise, le tacaíocht ó phrionsabail theicniúla, cás -staidéir agus sonraí tástála.
An "líne dhearg taise" le haghaidh sliseoga leathsheoltóra: Cén fáth go bhfuil taise ina bhagairt marfach
I ndéantúsaíocht wafer le próisis faoi bhun 7nm, tomhasann móilíní gaile uisce (H₂O) ~ 0.3nm ar trastomhas, agus tá spásáil chiorcaid sliseanna laghdaithe go dtí faoi bhun 3nm - rud a chiallaíonn gur féidir le móilín uisce amháin ciorcaid in aice láimhe a dhúnadh, ag cruthú {- ciorcaid. Mar a mhíníonn an t -innealtóir Wang, stiúrthóir teicniúil Risheng: "Nuair a sháraíonn an pointe aeir drúcht {- 40 céim, foirmeacha scannán uisce aon -mhóilín ar dhromchla an tsleasa;
Trí chás de dhamáiste taise:
Próisis sil -leagan.
Litogradation.
Tástáil phacáistithe: Le linn tástálacha taise 85 céim /85%RH, méadaíonn aer neamhchóireáilte rátaí creimthe bioráin sliseanna faoi 10x.
Léirigh turgnamh comparáideach a rinne Risheng le haghaidh monarcha sliseanna cuimhne: ag baint úsáide as triomadóirí asaithe traidisiúnta, scriosadh 300 sliseog go míosúil mar gheall ar thaise (luach $ 1.5 milliún); Tar éis dóibh aistriú chuig triomadóirí cuisniúcháin Risheng, thit an ráta scrap go 5 sliseog/mí, ag sábháil $ 17.4 milliún in aghaidh na bliana.
"Rialú Nanoscale" na Teicneolaíochta Triomaithe Cuisniúcháin: Ó Phrionsabal go Cleachtadh
Aeir cuisniúcháin Risheng RishengGlac le trí {- Dearadh Dehumidification Deep Deep, ag briseadh tríd an triomú cuisniúcháin traidisiúnta "-20 Céim DEW Point Point":
Céim fuaraithe réamh -.
Cuisniú domhain.
Snasú asaithe.
Pointe drúcht Chliste Dúnta - Rialú LúibeIs é an buntáiste croí: Tá braiteoir pointe drúchta rotronic na hEilvéise ag an aonad le cruinneas braite céim 1, ag coigeartú cumhachta cuisniúcháin go huathoibríoch gach 10 soicind. I gceardlann sliseog 12 orlach de SMIC, rinne an córas seo luaineachtaí pointe drúchta a rialú laistigh de ± 0.5 céim, i bhfad níos mó ná an caighdeán ISO 14644-1 (ag ceadú ± 2 luaineachtaí céim).
Anailís Príomh -Chomhpháirt: Cé na dearaí a chinneann cosaint taise?
Ionchorpraíonn triomadóirí Risheng trí "theicneolaíochtaí dubha cosanta taise" ó 15 bliana de shaineolas tionscail leathsheoltóra:
Gach {- Malartóir teasa cóimhiotail tíotáiniam. I monarcha feiste cumhachta ag baint úsáide as clóirín - ina bhfuil gáis eitseáil, rinneadh malartóirí teasa traidisiúnta triomadóir laistigh de 6 mhí, agus d'fheidhmigh malartóirí teasa tíotáiniam Risheng go leanúnach ar feadh 3 bliana gan creimeadh.
Ard - Deighilteoir Cioclón Éifeachtúlachta. Taispeánann tástálacha comparáideacha go bhfuil cion uisce leachtach asraon ag an deighilteoir seo de 0.005mg/m³ amháin, 1/20 de ghnáth -deighilteoirí.
Córas aisghabhála fuinnimh: Malartú teasa idir aer fuar triomaithe agus ard - Baineann aer ionraoin teochta coigilteas fuinnimh 25% amach. Taispeánann sonraí ó TSMC Nanjing go sábhálann an dearadh seo 120,000 kWh in aghaidh na bliana in aghaidh an triomadóir, atá comhionann le 72 tonna d'astuithe carbóin a laghdú.
Tástálacha Allamuigh Fab Wafer: An fhírinne taobh thiar de 99.7% asaithe gaile uisce laghdaithe
I dturgnamh comparáideach 180 lá ag ceardlann wafer cuimhne Yangtze, léirigh triomadóirí Risheng torthaí suaiteacha:
| Tága | Triomadóir traidisiúnta | Triomadóir cuisniúcháin Risheng | Feabhsúchán |
|---|---|---|---|
| Pointe drúcht aer an tseomra glantacháin | -35 céim ± 3 chéim | -62 céim ± 0.8 céim | Laghdaíodh 400% pointe drúchta 400% |
| Tiús Scannán Uisce Dromchla Wafer | 8nm ± 2nm | 0.02nm ± 0.005nm | Laghdaítear tiús 99.7% |
| Sreangú miotail ráta ciorcaid ghearr | 0.32% | 0.0015% | Ráta teip síos 99.5% |
| Diall Leithead Líne Photoresist | ± 4nm | ± 0.8nm | Cruinneas suas 80% |
Miondealú teicniúil:
Nuair a thiteann an pointe drúchta ó {- 35 céim go céim -62, laghdaíonn an t -ábhar uisce sáithithe aeir ó 0.11g/m³ go 0.003g/m³ -bhrí 0.107g níos lú uisce in aghaidh an mhéadair chiúbach;
Is éard atá i gceist le triomadóirí Risheng ná dearadh "iarmhar nialais" (gan aon riosca púdóra asaithe) chun éilliú tánaisteach a sheachaint, atá ríthábhachtach do liteagrafaíocht EUV - Is féidir le smionagar criathar móilíneach asaithe asaithe dromchlaí sliseanna a scríobadh.
Costais Timthriall Saol: An chaoi a gcothromaíonn triomadóirí éifeachtúlacht agus tomhaltas fuinnimh
Seachadann triomadóirí Risheng "Costas Cosanta Taise - Éifeachtacht" thar thrí thoise:
Infheistíocht tosaigh: 30% níos airde ná triomadóirí asaithe traidisiúnta, ach níl aon athsholáthar rialta asaithe ag teastáil (ag sábháil $ 20,000– $ 50,000 in aghaidh na bliana);
Costais fuinnimh. Taispeánann sonraí ó mhonarcha pacáistithe agus tástála costais leictreachais mhíosúla a thit ó $ {86, 000 go $ 52,000 tar éis dóibh dul chuig Risheng;
Timthriall cothabhála.
Comparáid iomlán costas úinéireachta (TCO):
Triomadóir asaithe traidisiúnta (timthriall 10 mbliana): $ 500K Infheistíocht Tosaigh + $ 350K Cothabháil + $ 1.2M Leictreachas=$ 2.05m;
Risheng Refrigeration Dryer (timthriall 10 mbliana): $ 650K Infheistíocht Tosaigh + Cothabháil $ 80K + $ 720K Leictreachas=$ 1.45m;
Coigilteas.
Ceisteanna Coitianta: Ceisteanna coitianta faoi chosaint taise leathsheoltóra
1. Conas a dhéanann triomadóirí cuisniúcháin níos fearr ná triomadóirí asaithe?
A: Bíonn triomadóirí asaithe ag brath ar chlaon mhóilíneach, ag cruthú luaineachtaí pointe drúchta (± 5 chéim) le linn "asaithe - athghiniúint" Is féidir le timthriallta, agus púdrú criathar sliseoga a thruailliú. Tá triomadóirí cuisniúcháin Risheng inchaite {- saor in aisce, le pointí drúchta cobhsaí (± 0.8 céim), a oireann níos fearr do phróisis bheachtais mar EUV.
2.is -60 Céim DEW Point iomarcach? An méadaíonn sé costais?
A: Éilíonn próisis faoi bhun 7nm pointí drúchta <-55 céim; -60 Is corrlach sábháilteachta é an chéim. Coinníonn Córas Téarnaimh Fuinnimh Risheng -60 céim drúcht fuinnimh ó phointe drúcht atá comhionann le haonaid thraidisiúnta -40 céim, agus ní chosnaíonn sé ach $ 0.012 in aghaidh an mhéadair chiúbach d'aer triomaithe.
3. Cén chaoi a bhfíoraítear cosaint taise triomadóir?
A: Tairgeann Risheng "tástáil ionsúcháin taise wafer" - ag cur sliseoga sileacain ag an asraon triomadóir agus ag brath ar ábhar ocsaigine dromchla trí x {- speictreascópacht fhótaileictreach Ray (XPS). Léirigh tástálacha do mhonaróir OEM gur thit cóimheas adamh ocsaigine dromchla ó 0.3% go 0.005%, rud a chruthaigh laghdú suntasach asaithe taise.
4. Teip triomadóir a dhúnadh síos línte táirgthe?
A: Risheng Dryers gné "dé - meaisín fuireachas te," le gníomhachtú fuireachas uathoibríoch i<10 seconds during main unit failure. A memory chip factory avoided $30M in WIP scrap when the dryer's UPS system sustained operation for 4 hours during a typhoon power outage.
5.An triomadóirí a chur in oiriúint do phróisis éagsúla sliseog éagsúla?
A: Tacaítear le dearaí saincheaptha. Mar shampla, -40 samhlacha pointe drúchta (laghdú costais 20%) do phróisis aibí 28nm, agus -70 samhlacha pointe DEW (le modúil triomaithe héiliam) le haghaidh próiseas ard 3nm. Déanann foireann theicniúil Risheng paraiméadair a choigeartú bunaithe ar phróisis shonracha mar PECVD agus Etching.
Deireadh
Tá caighdeáin chosanta taise leathsheoltóra ath -shainmhínithe ag Hangzhou Risheng Decontanination Equipment, Ltd. I ré na maise maise sliseanna 3nm, soláthraíonn triomadóirí Risheng “éadaí cosanta taise nanascála” trí {- 60 céim Ranga Ranga Ranga. Mar a dúirt Innealtóir Monarcha SMIC: "Cé go ndíospóireacht an tionscal an bhfuil céim -40 céim leordhóthanach, tá feidhmíocht chobhsaí -60 cobhsaí Risheng tar éis ár dtoradh a bhaint amach trí phointe criticiúla 0.3 céatadán." Le haghaidh réitigh chosanta taise leathsheoltóra saincheaptha, tabhair cuairt ar láithreán gréasáin oifigiúil Risheng (https://www.risheng-airdryer.com/) nó déan comhairliúchán foirne teicniúil a sceidealú do mheasúnú Cleanroom DEW Point.